Nom du produit : cible de pulvérisation en aluminium scandium.
Surnom du produit : cible AlSc, cible en alliage d'aluminium scandium
Couleur: argent
Pureté : supérieure ou égale à 99,9 %
Teneur en scandium : Sc 0,1 %-99,9 %
Density: >99.5%
Taille moyenne des grains :<500μm
Rugosité indiquée :<2μm
Forme : cible carrée, cible ronde, cible rotative (la taille peut être personnalisée selon les exigences du client)
Reliure : brasage à l'indium (la méthode de liaison et le matériau de la plaque arrière peuvent être personnalisés selon les clients)
Caractéristiques techniques : coulée sous ultra-vide, nettoyage des cibles et transformation du plastique
Méthode de préparation de la cible en alliage d'aluminium scandium :
Il existe actuellement deux méthodes principales pour préparer des cibles en alliage aluminium-scandium :
1. Teneur en scandium inférieure à 15 % :
Il convient d'utiliser la méthode de contre-dopage pour préparer l'alliage aluminium-scandium, c'est-à-dire ajouter directement du scandium métallique à l'alliage d'aluminium, obtenir l'alliage aluminium-scandium par coulée, puis préparer la cible en alliage aluminium-scandium.
Le processus de fabrication se fait principalement par fusion par induction sous vide. Le scandium métallique et l'aluminium métallique sont placés dans un creuset en fonction du rapport d'alliage pour la fusion par induction. Les matériaux du creuset sont sélectionnés en fonction de la composition et des propriétés de l'alliage. Si le matériau de l'alliage a des exigences plus élevées en matière de température, d'activité ou de propreté, le matériau du creuset peut être remplacé par de l'oxyde de zirconium, de l'oxyde de calcium, de l'oxyde d'yttrium ou un creuset en cuivre refroidi à l'eau selon la situation. Après la coulée, l'embryon cible en alliage est soumis à un pressage à chaud sous vide, au forgeage, à un traitement thermique, etc. selon les besoins, et l'embryon cible est soumis à des traitements de trempe et de revenu de l'embryon cible tels que la densification, le recuit, l'homogénéisation et le grain fin. Les ébauches cibles trempées et revenues sont ensuite usinées, nettoyées et soudées par diffusion à la plaque arrière selon les exigences du client.
2. Teneur en scandium supérieure à 15 % :
Il convient d'utiliser la méthode de métallurgie des poudres pour mélanger, presser et fritter directement la poudre de scandium et la poudre d'aluminium dans les matériaux cibles. La cible en alliage aluminium-scandium préparée par ce procédé est relativement uniforme et présente une large gamme facultative de teneur en scandium. Cependant, la cible présente des problèmes tels qu’une teneur élevée en oxygène et une faible densité.
Notre institut possède un certain nombre de brevets de préparation de cibles en alliage aluminium-scandium et peut produire des cibles en alliage aluminium-scandium de grande taille de plus de 12 pouces, avec un faible écart de composition et une pureté élevée. Le niveau technique global est de premier ordre au niveau national et de classe mondiale. Le produit a été vérifié par des clients nationaux et étrangers.
Applications des cibles en alliage d'aluminium scandium :
L'alliage aluminium-scandium est un alliage d'aluminium haute performance. L'ajout de traces de scandium à l'alliage d'aluminium peut favoriser le raffinement du grain et augmenter la température de recristallisation de 250 à 280 degrés. C'est un puissant raffineur de grain et un puissant agent de recristallisation pour les alliages d'aluminium. Les inhibiteurs de cristallisation ont un impact significatif sur la structure et les propriétés de l'alliage, et sa résistance, sa dureté, sa soudabilité et sa résistance à la corrosion sont grandement améliorées. Le scandium a un bon effet de renforcement de la dispersion sur l'aluminium et maintient une structure non recristallisée stable pendant le traitement à chaud ou le traitement de recuit. Certains de ces alliages aluminium-scandium sont des tôles laminées à froid qui ont été fortement déformées et conservent cette structure même après recuit.
Le scandium a un bon effet d'alliage sur les cibles en alliage. Son ajout à l'aluminium peut générer une phase Al3Sc dispersée, qui affine considérablement la structure de l'alliage d'aluminium, améliorant ainsi sa résistance. La cible en alliage aluminium-scandium présente une résistance à la corrosion et une résistance aux radiations. Il présente les avantages d'une forte résistance, d'une faible résistivité et d'une stabilité thermique élevée, et peut répondre aux exigences de revêtement et d'utilisation de couches d'électrodes de substrat et de matériaux de câblage de circuits intégrés à grande échelle.
La cible en alliage aluminium-scandium est utilisée pour préparer des films minces de nitrure d'aluminium dopé au scandium (ScAlN) par dépôt réactif par pulvérisation magnétron. Le film de nitrure d'aluminium dopé au scandium a une constante piézoélectrique élevée, environ dix fois supérieure à celle du film AlN traditionnel. Le film piézoélectrique de nitrure d'aluminium scandium (ScAlN) présente des avantages significatifs tels qu'une vitesse sonore élevée, une bonne stabilité thermique et une large bande interdite. Il est notamment compatible avec le procédé CMOS et permet de vaincre la pression du film piézoélectrique en nitrure d'aluminium (AlN). Les inconvénients du petit corps électrique et du faible coefficient de couplage électromécanique ont une valeur d'application importante dans les ondes acoustiques de masse, les ondes acoustiques de surface, la récupération d'énergie, la détection ultrasonique et les transistors à effet de champ. Les films ScAlN peuvent être utilisés pour préparer des systèmes microélectromécaniques (MEMS), des filtres radiofréquence (RF) 5G, des transducteurs ultrasoniques (PMUT), des dispositifs de reconnaissance de gestes ou d'empreintes digitales, des capteurs médicaux, etc.
Avec l'avènement de l'ère des communications de nouvelle génération 5G, outre la bande passante et le débit de données, un autre paramètre clé est l'intégrité du signal, qui nécessite d'améliorer la valeur Q. La valeur Q est liée aux propriétés piézoélectriques du matériau en couche mince utilisé dans l'application. Les alliages AlSc actuellement utilisés ont des teneurs différentes en scandium (Sc). Une teneur plus élevée en Sc peut apporter des propriétés piézoélectriques plus élevées. Plus la teneur en oxygène est faible, plus l’amélioration des propriétés piézoélectriques est évidente. HNRE utilise désormais une nouvelle technologie pour produire des cibles en alliage aluminium-scandium à faible teneur en oxygène avec une teneur atomique en Sc allant jusqu'à 43 %.
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